本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半絕緣砷化久單晶深施主EL2 濃度的紅外吸收測(cè)試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于電阻率大于10”0,cm 的非挫雜和碳挫雜半絕緣砷化兒?jiǎn)纹飞钍┲鱁L2 濃度的測(cè)定。 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于挫鉻半絕緣砷化餅單晶深施主EL2 濃度的測(cè)定。
術(shù)語(yǔ) | |
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EL2 濃度 | EL2 concentration |
分光光度計(jì) 能在 0.8 nm至2.5 nm范圍掃描,零線吸光度波動(dòng)不超過(guò)±0.002。 | 用于測(cè)量紅外吸收系數(shù)的儀器。 |
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