GB/T 24469-2009
電子工業用氣體.5N氯化氫
Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
GBT24469-2009, GB24469-2009
2015-07
- 標準號
- GB/T 24469-2009
- 別名
- GBT24469-2009, GB24469-2009
- 發布
- 2009年
- 總頁數
- 13頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 14602-2014
- 當前最新
- GB/T 14602-2014
- 引用標準
- GB 13004 GB 14193 GB 15258 GB 15382 GB 17265 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 16942 GB/T 16943 GB/T 16944 GB/T 5832.2 GB/T 6681 危險貨物運輸規則 定量包裝商品計量監督管理辦法 氣瓶安全監察規定 氣瓶安全監察規程
- 適用范圍
- 本標準規定了電子工業用氣體5N氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、儲存、充裝、分裝和安全要求。 本標準適用于以工業氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液化氯化氫。 氯化氫主要用于微電子工業半導體器件生產中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用于硬質合金和玻璃表面處理、醫藥中間體和精細化學品制造、科學研究等領域。 分子式:HCl 相對分子質量:36.46l(按2005年國際相對原子質量)