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GB/T 24469-2009
電子工業用氣體.5N氯化氫

Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride

GBT24469-2009, GB24469-2009

2015-07

標準號
GB/T 24469-2009
別名
GBT24469-2009, GB24469-2009
發布
2009年
總頁數
13頁
發布單位
國家質檢總局
替代標準
GB/T 14602-2014
當前最新
GB/T 14602-2014
 
 
引用標準
GB 13004 GB 14193 GB 15258 GB 15382 GB 17265 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 16942 GB/T 16943 GB/T 16944 GB/T 5832.2 GB/T 6681 危險貨物運輸規則 定量包裝商品計量監督管理辦法 氣瓶安全監察規定 氣瓶安全監察規程
適用范圍
本標準規定了電子工業用氣體5N氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、儲存、充裝、分裝和安全要求。 本標準適用于以工業氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液化氯化氫。 氯化氫主要用于微電子工業半導體器件生產中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用于硬質合金和玻璃表面處理、醫藥中間體和精細化學品制造、科學研究等領域。 分子式:HCl 相對分子質量:36.46l(按2005年國際相對原子質量)

GB/T 24469-2009 中可能用到的儀器設備


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