GB/T 24469-2009
電子工業(yè)用氣體.5N氯化氫
Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
GBT24469-2009, GB24469-2009
2015-07
說明：
- 此圖僅顯示與當前標準最近的5級引用；
- 鼠標放置在圖上可以看到標題編號；
- 此圖可以通過鼠標滾輪放大或者縮小；
- 表示標準的節(jié)點，可以拖動；
- 綠色表示標準：GB/T 24469-2009 ， 綠色、紅色表示本平臺存在此標準，您可以下載或者購買，灰色表示平臺不存在此標準；
- 箭頭終點方向的標準引用了起點方向的標準。
點擊查看大圖
- 標準號
- GB/T 24469-2009
- 別名
- GBT24469-2009
GB24469-2009 - 發(fā)布
- 2009年
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 替代標準
- GB/T 14602-2014
- 當前最新
- GB/T 14602-2014
- 引用標準
- GB 13004 GB 14193 GB 15258 GB 15382 GB 17265 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 16942 GB/T 16943 GB/T 16944 GB/T 5832.2 GB/T 6681 危險貨物運輸規(guī)則 定量包裝商品計量監(jiān)督管理辦法 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)定 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程
本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體5N氯化氫的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸、儲存、充裝、分裝和安全要求。 本標準適用于以工業(yè)氯化氫為原料經(jīng)凈化制得的瓶裝液化氯化氫。 氯化氫主要用于微電子工業(yè)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用于硬質(zhì)合金和玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細化學品制造、科學研究等領(lǐng)域。 分子式:HCl 相...