ISO 14644-4:2022
潔凈室和相關受控環境.第4部分:設計、施工和啟動
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up
- 標準號
- ISO 14644-4:2022
- 發布
- 2022年
- 總頁數
- 64頁
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-4:2022
- 引用標準
- ISO 14644-1 ISO 14644-10 ISO 14644-12 ISO 14644-17 ISO 14644-2 ISO 14644-8 ISO 14644-9
- 適用范圍
- 本文件規定了從需求到潔凈室的設計、建造和運行啟動的全過程。它適用于新的、翻新和改造的潔凈室安裝。它不指定實現這些要求的具體技術和合同手段。它供潔凈室安裝的用戶、規范制定者、設計者、購買者、供應商、建筑商和性能驗證者使用。主要的清潔度考慮是空氣中的顆粒濃度。本文件提供了需求、設計、建設和啟動的詳細檢查表，其中包括要考慮的重要性能參數。為支持節能型潔凈室設計，指定了能源管理設計方法。提供了建設指導，包括啟動和驗證的要求。本文件的一個基本要素是考慮到維護等方面，以幫助確保在整個生命周期內實現持續滿意的運行。