ISO 14644-4:2022
潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境.第4部分:設(shè)計、施工和啟動

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up

標(biāo)準(zhǔn)號

ISO 14644-4:2022

發(fā)布

2022年

總頁數(shù)

64頁

發(fā)布單位

國際標(biāo)準(zhǔn)化組織

當(dāng)前最新

ISO 14644-4:2022

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644-1 ISO 14644-10 ISO 14644-12 ISO 14644-17 ISO 14644-2 ISO 14644-8 ISO 14644-9

本文件規(guī)定了從需求到潔凈室的設(shè)計、建造和運(yùn)行啟動的全過程。它適用于新的、翻新和改造的潔凈室安裝。它不指定實現(xiàn)這些要求的具體技術(shù)和合同手段。它供潔凈室安裝的用戶、規(guī)范制定者、設(shè)計者、購買者、供應(yīng)商、建筑商和性能驗證者使用。主要的清潔度考慮是空氣中的顆粒濃度。本文件提供了需求、設(shè)計、建設(shè)和啟動的詳細(xì)檢查表，其中包括要考慮的重要性能參數(shù)。為支持節(jié)能型潔凈室設(shè)計，指...

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