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GB/T 14603-1993
電子工業(yè)用氣體 三氟化硼

Gases for electronic industry. Boron trifluoride

GBT14603-1993, GB14603-1993

2010-05

標(biāo)準(zhǔn)號
GB/T 14603-1993
別名
GBT14603-1993, GB14603-1993
發(fā)布
1993年
總頁數(shù)
8頁
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
替代標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 14603-2009
當(dāng)前最新
GB/T 14603-2009
 
 
適用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氟化硼產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟硼酸鈉為原料,采用熱分解法制得的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。 分子式:BF3 相對分子質(zhì)量:67.805(按1989年國際相對原子質(zhì)量)

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