GB/T 14603-1993
電子工業(yè)用氣體 三氟化硼
Gases for electronic industry. Boron trifluoride
GBT14603-1993, GB14603-1993
2010-05
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 14603-1993
- 別名
- GBT14603-1993, GB14603-1993
- 發(fā)布
- 1993年
- 總頁數(shù)
- 8頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 14603-2009
- 當(dāng)前最新
- GB/T 14603-2009
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氟化硼產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟硼酸鈉為原料，采用熱分解法制得的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。 分子式：BF3 相對分子質(zhì)量：67.805（按1989年國際相對原子質(zhì)量）
其他標(biāo)準(zhǔn)
專題
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