GB/T 14602-1993
電子工業用氣體 氯化氫
Gases for electronic industry. Hydrogen chloride
GBT14602-1993, GB14602-1993
2015-07
- 標準號
- GB/T 14602-1993
- 別名
- GBT14602-1993, GB14602-1993
- 發布
- 1993年
- 總頁數
- 7頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 14602-2014
- 當前最新
- GB/T 14602-2014
- 適用范圍
- 本標準規定了氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于以氫、氯為原料合成的氯化氫和以工業氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液態氯化氫。 氯化氫主要用于電子工業，在集成電路生產中用于蝕刻、鈍化、外延等工藝。也可用于金屬冶煉、光導通訊和科學研究等領域。 分子式：HC1 相對分子質量：36.461（按1989年國際相對原子質量）
GB/T 14602-1993 中可能用到的儀器設備
專題
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