GB/T 14600-1993
電子工業用氣體 氧化亞氮
Gases for electronic industry. Nitrous oxide
GBT14600-1993, GB14600-1993
2010-05
- 標準號
- GB/T 14600-1993
- 別名
- GBT14600-1993, GB14600-1993
- 發布
- 1993年
- 總頁數
- 6頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 14600-2009
- 當前最新
- GB/T 14600-2009
- 適用范圍
- 本標準規定了電子工業用氣體--瓶裝氧化亞氮的技術要求、試驗方法、驗收規則及包裝、標志、貯存與運輸要求。 本標準適用于硝酸銨熱分解工藝制取的氧化亞氮。該產品主要用于電子工業中二氧化硅的化學氣相淀積、等離子工藝。 分子式：N2O 相對分子質量：44.01（按1989年國際相對原子質量）
GB/T 14600-1993 中可能用到的儀器設備
專題
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