1前言三氯化硼作為一種工業氣體,在有機合成、石油化工、電子和光纖工業領域有廣泛的應用。三氯化硼可用作苯乙烯聚合反應中的催化劑,也可用于硅半導體器件的擴散、離子注入、干法蝕刻和制造太陽能電池元件等工藝過程;也可用作生產光導纖維的基礎材料,其純度對所制器件和光導纖維的質量有直接影響。在生產三氟化硼工藝中...
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