GB/T 6621-2009
硅片表面平整度測試方法
Testing methods for surface flatness of silicon slices
GBT6621-2009, GB6621-2009
- 標準號
- GB/T 6621-2009
- 別名
- GBT6621-2009, GB6621-2009
- 發布
- 2009年
- 總頁數
- 6頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 6621-2009
- 被代替標準
- GB/T 6621-1995
- 適用范圍
- 本標準規定了用電容位移傳感器測定硅拋光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蝕片也可參照此方法。 本標準適用于測量標準直徑76mm,100mm,125mm,150mm,200mm,電阻率不大于200Ω?cm厚度不大于1000μm的硅拋光片的表面平整度和直觀描述硅片表面的輪廓形貌。
其他標準
專題
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