該測試方法的目的是定義測試考慮安裝到高純度氣體分配系統中的組件的程序。應用該測試方法預計將在測試的組件之間產生可比較的數據,以驗證該安裝的資格。 1.1 本測試方法涵蓋了管道、配件和閥門等部件內表面的表面形態測試。 1.2 本測試方法適用于管道、連接器、調節器、閥門和任何金屬部件的所有表面,無論尺寸如何。 1.3 局限性: 1.3.1 該方法假設 SEM 操...
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