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DIN 50450-1:1987
半導體工藝材料的檢驗.載運氣體和添加劑氣體中雜質的測定.用五氧化二磷電池測定氫、氧、氮、氬和氦中的水雜質

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell


標準號
DIN 50450-1:1987
發布
1987年
總頁數
2頁
發布單位
德國標準化學會
替代標準
DIN 50450-1:1987-08
當前最新
DIN 50450-1:1987-08
 
 
適用范圍
該標準確定了半導體技術中使用的載氣和摻雜氣體(H2、O、N、Ar、He)中水雜質的測定方法。

專題


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五氧化二磷 測試方法


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