各種表面分析方法的建立又為這些領域的研究創造了很有利的條件。在表面組分分析方法中,除化學分析用電子能譜以外,俄歇電子能譜是最重要的一種。目前它已廣泛地應用于化學、物理、半導體、電子、冶金等有關研究領域中。...
俄歇電子能譜儀(Auger Electron Spectroscopy,AES),作為一種最廣泛使用的分析方法而顯露頭角。這種方法的優點是:在靠近表面5-20埃范圍內化學分析的靈敏度高;數據分析速度快;能探測周期表上He以后的所有元素。雖然最初俄歇電子能譜單純作為一種研究手段,但現在它已成為常規分析手段了。它可以用于許多領域,如半導體技術、冶金、催化、礦物加工和晶體生長等方面。...
俄歇電子能譜儀(AugerElectronSpectroscopy,AES),作為一種最廣泛使用的分析方法而顯露頭角。這種方法的優點是:在靠近表面5-20埃范圍內化學分析的靈敏度高;數據分析速度快;能探測周期表上He以后的所有元素。雖然最初俄歇電子能譜單純作為一種研究手段,但現在它已成為常規分析手段了。它可以用于許多領域,如半導體技術、冶金、催化、礦物加工和晶體生長等方面。...
最近十年中,固體表面分析方法獲得了迅速的發展,它是目前分析化學領域中最活躍的分支之一。 它的發展與催化研究、材料科學和微型電子器件研制等有關領域內迫切需要了解各種固體表面現象密切相關。各種表面分析方法的建立又為這些領域的研究創造了很有利的條件。 在表面組分分析方法中,除化學分析用電子能譜以外,俄歇電子能譜是最重要的一種。目前它已廣泛地應用于化學、物理、半導體、電子、冶金等有關研究領域中。 ...
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