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T/ICMTIA ESG0026-2022
集成電路用氣體 氯化氫

Hydrogen chloride gas for integrated circuits


標準號
T/ICMTIA ESG0026-2022
發布
2022年
發布單位
中國團體標準
當前最新
T/ICMTIA ESG0026-2022
 
 
適用范圍
本文件規定了集成電路用氯化氫的技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存以及安全。 本文件適用于集成電路制造過程中使用的氯化氫。

其他標準


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