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DIN 50451-3 E:2012-11
半導體工藝用材料測試 液體中痕量元素測定 第3部分：用電感耦合等離子體質譜法測定硝酸中鋁(AL)、鈷(Co)、銅(Cu)、鈉(Na)、鎳(Ni)和鋅(Zn)的含量

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Aluminium (Al), cobalt (Co), copper (Cu), sodium (Na), nickel (Ni) and zinc (Zn) in nitric acid by ICP-MS


標準號
DIN 50451-3 E:2012-11
發布
2012年
總頁數
19頁
發布單位
德國標準化學會
替代標準
DIN 50451-3:2014
當前最新
DIN 50451-3:2014-11
 
 

標準名稱:  半導體技術材料測試 - 液體中元素痕跡測定 - 第3部分:鋁 (Al), 砷 (As), 鋇 (Ba), 鍶 (Sr), 鈹 (Be), 銻 (Sb), 鉈 (Sn)等的硝酸溶液中ICP-MS 測試

適用范圍:  本標準規定了用于半導體技術的材料測試方法，特別適用于檢測硝酸溶液中的鋁 (Al), 砷 (As), 鋇 (Ba), 鉈 (Sn)等重要元素。該標準旨在確保這些關鍵原材料的質量控制。


該標準草案于2012年11月5日公布，征求公眾意見和建議。考慮到與現有版本可能存在的差異，使用時需特別協商確定。它詳細描述了如何使用ICP-MS技術進行材料檢測，并涵蓋了從樣本制備到結果計算的整個流程。

專題

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