T/BEA 40005-2024
GAM500氣體分析儀校準規(guī)范

Calibration specification for GAM500 gas analyzer

標準號

T/BEA 40005-2024

發(fā)布

2024年

發(fā)布單位

中國團體標準

當前最新

T/BEA 40005-2024

 

 

適用范圍

4  概述 4.1  原理 GAM500氣體分析儀的工作原理是：通過進樣系統(tǒng)將待校準氣體引入質(zhì)譜分析室中，質(zhì)譜儀將待測氣體離子化，按離子的質(zhì)荷比進行分離，通過檢測各離子的豐度（即質(zhì)譜峰強度）可實現(xiàn)物質(zhì)分析。 4.2  構(gòu)造 GAM500 氣體分析儀由質(zhì)譜分析系統(tǒng)、循環(huán)取樣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、驅(qū)動氣系統(tǒng)等組成。質(zhì)譜分析系統(tǒng)主要由四極質(zhì)譜計及真空系統(tǒng)組成，可對多種示漏介質(zhì)進行分析檢測；循環(huán)取樣系統(tǒng)主要由顯示單元、比較氣室和循環(huán)泵等組成，可控制并顯示測試過程并將收集室、比較氣室的氣體送入質(zhì)譜分析系統(tǒng)進行分析；冷卻系統(tǒng)為質(zhì)譜分析系統(tǒng)的分子泵提供循環(huán)冷卻水；驅(qū)動氣系統(tǒng)為質(zhì)譜分析系統(tǒng)的各氣動閥門進行供氣。GAM500氣體分析儀原理圖見圖1。   圖1  GAM500氣體分析儀原理圖 4.3  用途 GAM500 氣體分析儀可在大氣環(huán)境下對充入 He、Kr 或 CF4 等不同示漏氣體的多個密封系統(tǒng)同時進行總漏率測試。 5  計量特性 最小可檢漏率 6  校準條件 6.1  環(huán)境條件 a)　環(huán)境溫度：23℃±5℃； b)　相對濕度：≤80%； c)　周圍無影響正常校準的電磁干擾，無劇烈振動。 6.2  校準用氣體 純度不低于99.9%、臨界溫度不高于0℃、無毒、無腐蝕性、非易燃氣體。 6.3  校準用設備 校準所用儀器設備應經(jīng)過計量技術(shù)機構(gòu)校準，并在有效期內(nèi)。校準用儀器設備及性能要求見表1。 表1 校準用儀器設備及性能要求 序號　儀器設備名稱　技術(shù)要求 1　電容薄膜真空計　測量范圍：100kPa～100Pa， 最大允許誤差：±1.5%； 測量范圍：100～0.01Pa， 最大允許誤差：±2%。； 2　小孔流導元件　測量范圍：(1×10-2～1×10-8)m3/s 最大允許誤差：±10% 7  校準項目 最小可檢漏率。 8  校準方法 8.1  校準原理 GAM500氣體分析儀采用氣體微流量計校準，氣體微流量計的氣體流量采用固定流導法測量，其計算公式為： ?Q  = pC                                      (1) 式中：  Q——標準氣體微流量，Pa?m3/s； p——小孔流導元件的入口壓力，Pa； C——小孔流導元件的流導值，m3/s。 將氣體微流量計提供的已知流量的示漏氣體引入到GAM500氣體分析儀中，通過比較標準流量值與其在GAM500氣體分析儀上對應的示值實現(xiàn)校準。GAM500氣體分析儀的校準原理圖見圖2。   1—氣體微流量計（虛線框內(nèi)的部分），2—高純氣體，3、5、9—閥門， 4—抽氣系統(tǒng)，6—真空室，7—壓力計，8—限流元件。 圖2  GAM500氣體分析儀校準原理圖 8.2  校準步驟 8.2.1  校準前準備 a)　將氣體微流量計通過閥門9和GAM500氣體分析儀連接。 b)　啟動GAM500氣體分析儀，穩(wěn)定1h以上，使其處于正常工作狀態(tài)； c)　啟動抽氣系統(tǒng)4，打開閥門5、3和9，將真空室及連接管路抽至本底。 8.2.2  校準步驟 　a) 關(guān)閉閥門9，測量并記錄GAM500氣體分析儀的本底示值 和噪聲 ， 和 均取一段時間內(nèi)的平均值，測量時間應大于等于1min； 　b) 打開閥門9，調(diào)節(jié)氣體微流量計，向GAM500氣體分析儀輸入特定的示漏氣體流量 （一般在（1×10-8～1×10-9）Pa?m3/s之間），待GAM500氣體分析儀的示值穩(wěn)定后，記錄其示值 。 　c) 重復上述步驟，測量n組數(shù)據(jù)（n≥6）。 8.2.3  數(shù)據(jù)處理 單次測得的被校準GAM500氣體分析儀的最小可檢漏率 按公式（2）計算：                             （2） 式中：  —第 次測量的GAM500氣體分析儀的最小可檢漏率，Pa?m3/s；  —第 次GAM500氣體分析儀的噪聲，Pa?m3/s；  —第 次GAM500氣體分析儀的示值，Pa?m3/s；  —第 次GAM500氣體分析儀的本底，Pa?m3/s；  —標準流量值，Pa?m3/s。 GAM500氣體分析儀最小可檢漏率的算術(shù)平均值由公式（3）計算，作為GAM500氣體分析儀最小可檢漏率的校準值：                                            （3） 式中：  —被校準GAM500氣體分析儀的平均最小可檢漏率，Pa?m3/s；  —測量次數(shù)。 9  校準結(jié)果表達 經(jīng)校準的GAM500氣體分析儀，應給出最小可檢漏率值及其相對擴展不確定度。原始記錄內(nèi)頁格式參見附錄B，校準證書內(nèi)頁格式參見附錄C。  10  復校時間間隔 GAM500氣體分析儀的復校時間間隔一般不超過12個月。

T/BEA 40005-2024相似標準

推薦