EN ISO 14644-4:2022
潔凈室和相關控制環境.第4部分:設計,建造和啟用

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up (ISO 14644-4:2022)

作廢

標準號

EN ISO 14644-4:2022

發布

2022年

發布單位

歐洲標準化委員會

當前最新

EN ISO 14644-4:2022

 

 

適用范圍

本文件詳細說明了創建潔凈室的過程，從需求到設計、施工和啟動。 它適用于新建、翻新和改造的潔凈室裝置。 它沒有規定實現這些要求的具體技術或合同手段。 它供潔凈室安裝的用戶、規范制定者、設計師、購買者、供應商、建造者和性能驗證者使用。 主要的清潔度考慮因素是空氣中的顆粒濃度。 提供了針對要求、設計、施工和啟動的詳細清單，其中包括需要考慮的重要性能參數。 確定能源管理設計方法以支持節能潔凈室設計。 提供了施工指南，包括啟動和驗證的要求。 本文件的基本要素是考慮各個方面，包括維護，這將有助于確保潔凈室的整個生命周期持續令人滿意的運行。 注：附件 A 至 D 給出了進一步的指導。 ISO 14644-1、ISO 14644-2、ISO 14644-8、ISO 14644-9、ISO 14644-10、ISO 14644-12 和 ISO 14644-17 提供了補充信息。 ISO 14644-7 提供了有關分離裝置（潔凈空氣罩、手套箱、隔離器和微環境）的設計、構造和要求的指南。 本文件中提到但未涉及以下主題： 　——潔凈室安裝中的具體操作活動、要適應的過程和過程設備； 　——消防和安全法規； 　——ISO 14644-5 涵蓋的持續運行、清潔和維護活動。

其他標準

EN ISO 14644-4:2022相似標準