SJ 2807-1987
電子級體氣中痕量氫的測定方法.氣敏色譜法
Method for determination of trace Hydrogen in electronic grade gases--Gas-sensitization chromatographic method
2010-02
- 標準號
- SJ 2807-1987
- 發布
- 1987年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ 2807-1987
- 適用范圍
- 本方法適用于電子級氫、氮、氧、氬和氦中痕量氫的測定，測定范圍為0.0 5～37ppm。