SJ 2804.2-1987
電子級氬中痕量氮的測定方法.變溫濃縮色譜法(二)
Method for determination of trace Nitrogen in electronic grade Argon--Concentration gas chromatographic method (Part two)
2010-02
- 標準號
- SJ 2804.2-1987
- 發布
- 1987年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ 2804.2-1987
- 適用范圍
- 本方法適用于電子級氬中痕量氮測定，應用此法可同時測定其中甲烷，一氧化碳和二氧化碳含量。測定范圍為0.5～50ppm。