sem掃描分析

本專題涉及sem掃描分析的標準有9條。

國際標準分類中，sem掃描分析涉及到光學設備、長度和角度測量、鞋類、分析化學。

在中國標準分類中，sem掃描分析涉及到電子光學與其他物理光學儀器、油、氣處理設備、鞋、靴、基礎標準與通用方法。

國際標準化組織，關于sem掃描分析的標準

• ISO 21466:2019 微束分析.掃描電子顯微鏡.用CD-SEM評定臨界尺寸的方法

英國標準學會，關于sem掃描分析的標準

• 18/30319114 DC BS ISO 20171 微束分析 掃描電子顯微鏡 用于掃描電子顯微鏡（TIFF/SEM）的標記圖像文件格式
• 18/30344520 DC BS ISO 21466 微束分析 掃描電子顯微鏡 CD-SEM 評估關鍵尺寸的方法

國家質檢總局，關于sem掃描分析的標準

• GB/T 23414-2009 微束分析.掃描電子顯微術.術語

美國材料與試驗協會，關于sem掃描分析的標準

• ASTM F1372-93(2005) 氣體分配系統組件用金屬表面狀態的掃描式電子顯微鏡(SEM)分析的標準試驗方法
• ASTM F1372-93(2012) 氣體分配系統組件用金屬表面狀態的掃描式電子顯微鏡 (SEM) 分析的標準試驗方法
• ASTM E3309-21 用掃描電子顯微鏡/能量色散X射線光譜法（SEM/EDS）報告法醫底漆槍彈殘留物（pGSR）分析的標準指南

福建省地方標準，關于sem掃描分析的標準

• DB35/T 1778-2018 腳型測量 掃描分析法

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會，關于sem掃描分析的標準

• GB/T 33834-2017 微束分析 掃描電子顯微術 生物試樣掃描電子顯微鏡分析方法

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可能用到的儀器設備