解析橢偏儀的工作原理
橢偏儀是一種用于檢測薄膜厚度，光學常數和材料微觀結構的光學測量儀器。由于其高測量精度，它適用于超薄膜，不接觸樣品，不會損壞樣品而不需要真空，使橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器。
橢偏儀的工作原理：
測量儀器橢偏儀
不同的硬件配置用于光譜橢偏儀的測量，但每種配置必須產生已知偏振的光束。測量被測樣品反射的光的偏振態。這要求儀器量化極化狀態的變化量ρ。
一些儀器測量ρ作為偏振器（稱為起偏器），其通過旋轉確定初始偏振態。第二固定位置偏振器（稱為檢偏器）用于測量輸出光束的偏振。其他儀器是固定起偏器和檢偏器，，并且偏振光的狀態在中間部分被調制，例如使用聲光晶體等，以最終獲得輸出光束的偏振狀態。這些不同配置的最終結果被測量為波長和入射角的復函數ρ。
在選擇合適的橢偏儀時，光譜范圍和測量速度也是需要考慮的重要因素。可選的光譜范圍從深紫外142納米到紅外33微米。光譜范圍的選擇通常由應用決定。不同的光譜范圍可以提供關于材料的不同信息，并且適當的儀器必須與待測量的光譜范圍匹配。
測量速度通常由所選的分光儀器（用來分開波長）決定。單色儀用于選擇單個窄帶波長，可通過在單色儀內移動光學裝置（通常由計算機控制）來選擇。該方法在波長上更準確，但更慢，因為一次只能測試一個波長。
如果將單色儀放置在樣品前面，則優點在于到達樣品的入射光量顯著減少（避免了光敏材料的變化）。另一種測量方法是同時測量整個光譜范圍，擴散合成光束的波長，并使用探測器陣列來檢測不同的波長信號。當需要快速測量時通常會出現這種情況。傅立葉變換光譜儀還可以同時測量整個光譜，但通常只需要一個探測器，而不是陣列，這是紅外光譜范圍中使用最廣泛的。
文章鏈接：儀器設備網 https://www.instrumentsinfo.com/technology/show-1081.html
