微 X 射線熒光 (μXRF)的基本信息介紹
微 X 射線熒光 (μXRF) 是一種元素分析技術(shù),它允許檢測非常小的樣品區(qū)域。與傳統(tǒng)的 XRF 儀器一樣,微 X 射線熒光通過使用直接 X 射線激發(fā)來誘導(dǎo)來自樣品的特性 X 射線熒光發(fā)射,以用于元素分析。與傳統(tǒng) XRF 不同(其典型空間分辨率的直徑范圍從幾百微米到幾毫米),μXRF 使用 X 射線光學(xué)晶體來限制激發(fā)光束尺寸或?qū)⒓ぐl(fā)光束聚焦到樣品表面上形成小光斑,從而可以分析樣品上的小特性。傳統(tǒng) μXRF 儀器使用簡單的針孔光圈來限制樣品表面上的入射光束尺寸。只有與孔同軸的 X 射線才從光圈發(fā)射。遺憾的是,該方法阻擋了 X 射線源發(fā)射的大部分 X 射線通量,導(dǎo)致樣品上的入射通量低,這影響了該方法對微量元素進(jìn)行分析的靈敏度。
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